科技日報訊 (記者陳瑜)高性能耳溫槍、額溫槍等非接觸式測溫工具是當(dāng)前對大規(guī)模人員進行發(fā)熱篩查的主要工具之一，其核心部件MEMS(微機電系統(tǒng))紅外溫度傳感器長期主要依賴進口。近日，中國兵器工業(yè)集團電子院華東光電集成器件研究所通過技術(shù)攻關(guān)，已完成傳感器芯片各類單項試驗，性能指標(biāo)精度達到0.1℃，抗干擾能力優(yōu)于目前市場主流產(chǎn)品(性能指標(biāo)精度為0.3℃)。

因疫情防控、復(fù)工復(fù)產(chǎn)需要，高性能耳溫槍和額溫槍等非接觸式人體測溫工具MEMS紅外傳感器有了上百萬顆的訂貨需求。華東光電集成器件研究所自1月底緊急調(diào)整產(chǎn)品研制計劃，提前復(fù)工復(fù)產(chǎn)，組建黨員突擊隊和技術(shù)攻關(guān)小組，24小時不間斷輪班開展研制工作，目前已完成傳感器芯片各類單項試驗，預(yù)計在3月底完成芯片樣品研制。同時該所還采購全自動化組封裝關(guān)鍵設(shè)備、補充芯片制造的關(guān)鍵設(shè)備，推動傳感器芯片制造、組封裝的國產(chǎn)化，月產(chǎn)能從目前的2萬顆提升到100萬顆以上，4月初可大量投放市場。

作為國家發(fā)改委MEMS國家地方聯(lián)合工程實驗室和兵器工業(yè)集團微系統(tǒng)制造技術(shù)創(chuàng)新中心，華東光電集成器件研究所具有MEMS傳感器芯片設(shè)計、制造、封裝、測試等完整的科研能力，通過技術(shù)創(chuàng)新取得MEMS傳感器多項技術(shù)成果，下一步將開發(fā)相關(guān)測溫產(chǎn)品，滿足疫情防控、復(fù)工復(fù)產(chǎn)等高精度人體測溫需要。

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